अर्धचालक यन्त्रहरूमा सिलिकन नाइट्राइडको प्रयोग के हो?
2023-07-15
सिलिकन नाइट्राइड (Si3N4)एक यौगिक हो जुन यसको अद्वितीय विद्युतीय, थर्मल, र मेकानिकल गुणहरूको कारणले सामान्यतया अर्धचालक उपकरणहरूमा प्रयोग गरिन्छ। यहाँ सेमीकन्डक्टर टेक्नोलोजीमा सिलिकन नाइट्राइडको मुख्य प्रयोगहरू छन्:
1. गेट इन्सुलेटर:सिलिकन नाइट्राइडमेटल-अक्साइड-सेमिकन्डक्टर (MOS) उपकरणहरूमा गेट इन्सुलेटर सामग्रीको रूपमा प्रायः प्रयोग गरिन्छ। यसले मेटल गेट इलेक्ट्रोड र अन्तर्निहित सिलिकन सब्सट्रेट बीचको डाइइलेक्ट्रिक तहको रूपमा काम गर्दछ, बिजुली अलगाव प्रदान गर्दछ। सिलिकन नाइट्राइडमा उच्च डाइलेक्ट्रिक स्थिरता (सापेक्ष अनुमति) छ र प्रभावकारी रूपमा विद्युतीय प्रवाहलाई रोक्छ। यसको उत्कृष्ट इन्सुलेट गुणहरूले उपकरण भित्र चार्जको प्रवाहमा नियन्त्रण कायम राख्न मद्दत गर्दछ।
2. Pasivation: सिलिकन नाइट्राइड अक्सर बाह्य प्रदूषकहरू, नमी, र भौतिक क्षतिबाट सक्रिय उपकरण संरचना जोगाउन अर्धचालकहरूमा निष्क्रिय तहको रूपमा प्रयोग गरिन्छ। यसले अशुद्धताको फैलावट रोक्न, हालको चुहावट घटाएर, र आयन माइग्रेसन विरुद्ध सुरक्षात्मक अवरोध प्रदान गरेर यन्त्रको दीर्घकालीन विश्वसनीयता र स्थिरता सुधार गर्न मद्दत गर्छ।
3. डिफ्यूजन ब्यारियर: सिलिकन नाइट्राइडले छिमेकी तहहरूबाट डोपन्ट वा अशुद्धताहरूको अवांछित फैलावटलाई रोक्नको लागि बाधा तहको रूपमा काम गर्न सक्छ। यसलाई सेमीकन्डक्टर उपकरणको विभिन्न क्षेत्रहरूलाई अलग गर्न, अनावश्यक अन्तरक्रियाहरू रोक्न र उचित कार्यक्षमता सुनिश्चित गर्न प्रयोग गर्न सकिन्छ।
4. Etch मास्क: सिलिकन नाइट्राइड सेमीकन्डक्टर निर्माण प्रक्रियाहरूमा सामान्यतया प्रयोग हुने धेरै ईचेन्टहरूको प्रतिरोधी हुन्छ। यसलाई जटिल उपकरण संरचनाहरू सिर्जना गर्न वा पछिको प्रशोधन चरणहरूको लागि ढाँचाहरू परिभाषित गर्नको लागि ढाँचा र छनौट रूपमा नक्काशी गर्न सकिन्छ। यसको नक्काशी प्रतिरोधले यसलाई विभिन्न लिथोग्राफी र नक्काशी प्रक्रियाहरूमा ईच मास्क वा कडा मास्कको रूपमा प्रयोगको लागि एक आदर्श सामग्री बनाउँछ।
5. MEMS र सेन्सरहरू: सिलिकन नाइट्राइडले माइक्रोइलेक्ट्रोमेकानिकल प्रणाली (MEMS) र सेन्सर अनुप्रयोगहरूमा व्यापक प्रयोग पाउँछ। यसको उत्कृष्ट मेकानिकल गुणहरू, उच्च कठोरता, बल, र लगाउन प्रतिरोध सहित, यसलाई माइक्रोसेन्सर र माइक्रोएक्चुएटरहरूमा संरचनात्मक सामग्रीको रूपमा प्रयोगको लागि उपयुक्त बनाउँदछ।
कुल मिलाएर,सिलिकन नाइट्राइडअर्धचालक उपकरणहरूको डिजाइन, निर्माण, र प्रदर्शनमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ, तिनीहरूको विद्युतीय अलगाव, सुरक्षा, र उपकरण विशेषताहरूको वृद्धिमा योगदान गर्दछ। यसको गुणहरूले यसलाई अर्धचालक उद्योगमा बहुमुखी र व्यापक रूपमा प्रयोग गरिएको सामग्री बनाउँछ।
1. गेट इन्सुलेटर:सिलिकन नाइट्राइडमेटल-अक्साइड-सेमिकन्डक्टर (MOS) उपकरणहरूमा गेट इन्सुलेटर सामग्रीको रूपमा प्रायः प्रयोग गरिन्छ। यसले मेटल गेट इलेक्ट्रोड र अन्तर्निहित सिलिकन सब्सट्रेट बीचको डाइइलेक्ट्रिक तहको रूपमा काम गर्दछ, बिजुली अलगाव प्रदान गर्दछ। सिलिकन नाइट्राइडमा उच्च डाइलेक्ट्रिक स्थिरता (सापेक्ष अनुमति) छ र प्रभावकारी रूपमा विद्युतीय प्रवाहलाई रोक्छ। यसको उत्कृष्ट इन्सुलेट गुणहरूले उपकरण भित्र चार्जको प्रवाहमा नियन्त्रण कायम राख्न मद्दत गर्दछ।
2. Pasivation: सिलिकन नाइट्राइड अक्सर बाह्य प्रदूषकहरू, नमी, र भौतिक क्षतिबाट सक्रिय उपकरण संरचना जोगाउन अर्धचालकहरूमा निष्क्रिय तहको रूपमा प्रयोग गरिन्छ। यसले अशुद्धताको फैलावट रोक्न, हालको चुहावट घटाएर, र आयन माइग्रेसन विरुद्ध सुरक्षात्मक अवरोध प्रदान गरेर यन्त्रको दीर्घकालीन विश्वसनीयता र स्थिरता सुधार गर्न मद्दत गर्छ।
3. डिफ्यूजन ब्यारियर: सिलिकन नाइट्राइडले छिमेकी तहहरूबाट डोपन्ट वा अशुद्धताहरूको अवांछित फैलावटलाई रोक्नको लागि बाधा तहको रूपमा काम गर्न सक्छ। यसलाई सेमीकन्डक्टर उपकरणको विभिन्न क्षेत्रहरूलाई अलग गर्न, अनावश्यक अन्तरक्रियाहरू रोक्न र उचित कार्यक्षमता सुनिश्चित गर्न प्रयोग गर्न सकिन्छ।
4. Etch मास्क: सिलिकन नाइट्राइड सेमीकन्डक्टर निर्माण प्रक्रियाहरूमा सामान्यतया प्रयोग हुने धेरै ईचेन्टहरूको प्रतिरोधी हुन्छ। यसलाई जटिल उपकरण संरचनाहरू सिर्जना गर्न वा पछिको प्रशोधन चरणहरूको लागि ढाँचाहरू परिभाषित गर्नको लागि ढाँचा र छनौट रूपमा नक्काशी गर्न सकिन्छ। यसको नक्काशी प्रतिरोधले यसलाई विभिन्न लिथोग्राफी र नक्काशी प्रक्रियाहरूमा ईच मास्क वा कडा मास्कको रूपमा प्रयोगको लागि एक आदर्श सामग्री बनाउँछ।
5. MEMS र सेन्सरहरू: सिलिकन नाइट्राइडले माइक्रोइलेक्ट्रोमेकानिकल प्रणाली (MEMS) र सेन्सर अनुप्रयोगहरूमा व्यापक प्रयोग पाउँछ। यसको उत्कृष्ट मेकानिकल गुणहरू, उच्च कठोरता, बल, र लगाउन प्रतिरोध सहित, यसलाई माइक्रोसेन्सर र माइक्रोएक्चुएटरहरूमा संरचनात्मक सामग्रीको रूपमा प्रयोगको लागि उपयुक्त बनाउँदछ।
कुल मिलाएर,सिलिकन नाइट्राइडअर्धचालक उपकरणहरूको डिजाइन, निर्माण, र प्रदर्शनमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ, तिनीहरूको विद्युतीय अलगाव, सुरक्षा, र उपकरण विशेषताहरूको वृद्धिमा योगदान गर्दछ। यसको गुणहरूले यसलाई अर्धचालक उद्योगमा बहुमुखी र व्यापक रूपमा प्रयोग गरिएको सामग्री बनाउँछ।
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy